Der PFLOW-Luftstromsensor: Ein MEMS-basierter OEM-Massendurchfluss-Sensor mit hoher Schock- und Verstopfungs-Resistenz.

Geeignet für medizinische und andere Anwendungen im Bereich Prozesskontrolle.

PEWATRON lanciert den neuen MEMS-basierten Massendurchfluss-Sensors PFLOW . Der Luftstromsensor bedient sich der neusten Innovationen im Bereich MEMS-Technologie und Mikroelektronik und zeichnet sich aus durch eine sehr hohe Resistenz gegenüber Verstopfungen und Druckstossen. Die innovative MEMS-Technologie ermöglicht eine Wärmeisolation ohne fragile, dünne Membrane oder Oberflächen-Vertiefungen. Der Sensor beeindruckt zudem durch eine sehr hohe Sensitivität bei geringen Luftströmen. Er eignet sich deshalb perfekt für medizinische und andere anspruchsvolle Anwendungen in der Prozessindustrie.

Der Sensorchip besteht aus zwei Thermosäulen die symmetrisch in jeder Durchflussrichtung (auf- und abwärts) eines Heizelementes positioniert sind, welches die Heisslötstellen erhitzt. Um grösstmögliche Sensitivität zu gewährleisten, besteht jede der Thermosäulen aus zwanzig seriell angeordneten Wärmefühlern. Wenn ein Luftstrom den Sensorchip passiert, generieren die Thermosäulen eine Ausgangsspannung, die aufgrund des Seebeck-Effektes proportional ist zum Temperaturgefälle zwischen der heissen und der kalten Kontaktstelle (asymmetrisch). Wenn das Medium statisch ist (kein Luftstrom), ist das Temperaturprofil in beiden Richtungen (auf- und abwärts) symmetrisch.

Angeboten werden fünf Standardmessbereiche zwischen 0-10 SCCM und 0-2000 SCCM sowie auf Kundenwunsch spezifische Bereiche zwischen 10 und 2000 SCCM. Der PFLOW bietet eine Genauigkeit von mehr als +/-2,0% FS, der temperaturkompensierte Analogoutput (0-50°C) ist zudem hochlinear zum Luftstrom. Die Analogoutput-Spannung beträgt zwischen 1 und 5 VDC und der Sensor ist resistent gegenüber Wasserkondensation. Seine Reaktionszeit ist darüber hinaus mit 1-3 ms sehr gering.

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